薄膜团队可服务 AMAT Precision5000、CENTURA 5200 Ultima/HDP、Endura 5500/Endura 2、Producer SE/GT/XP、MRC 3190/3290、LAM Vector、LAM C1/C2/C3 等设备,从整机翻新到工艺数据匹配调试均具备项目经验。
THINFILM
薄膜设备翻新与工艺匹配方案
面向 AMAT、MRC、LAM、NOVELLUS 等薄膜设备,覆盖整机翻新、工艺数据匹配和隐患改造。
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面向 AMAT、MRC、LAM、NOVELLUS 等薄膜设备,覆盖整机翻新、工艺数据匹配和隐患改造。
薄膜团队可服务 AMAT Precision5000、CENTURA 5200 Ultima/HDP、Endura 5500/Endura 2、Producer SE/GT/XP、MRC 3190/3290、LAM Vector、LAM C1/C2/C3 等设备,从整机翻新到工艺数据匹配调试均具备项目经验。