帕兹离子注入团队具备原厂经验，服务 AMAT PI9500XR、XR80、XR200S、VISSTA HCP/1500H、Purion XE、VARIAN E220/500HP、Viista 系列、SEN-GSD 系列、Axcelis GSD 系列、NISSIN Exceed 系列等机型。团队可快速排查设备隐患，支持设备翻新、维修、备件供应和现场调试。
IMP
离子注入设备维修与调试方案
覆盖 AMAT、VARIAN、SEN、AXCELIS、NISSIN 等6/8/12寸注入设备，提供维修、翻新、备件和现场调试。