刻蚀团队覆盖 AMAT Precision5000、Centura 5200、LAM4520、LAM4500、LAM4400、TCP9600、TCP9400、LAM2300 Kiyo/Kiyo45、E5/E6 Kiyo 等设备，能够围绕 ESC 改造、Si/SiC 产品需求和整机翻新调试提供工程支持。
ETCH
刻蚀设备改造与翻新方案
支持 AMAT 与 LAM 刻蚀设备翻新调试，包含 LAM 系列 ESC 改造和 Si/SiC 产品适配。
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支持 AMAT 与 LAM 刻蚀设备翻新调试，包含 LAM 系列 ESC 改造和 Si/SiC 产品适配。
刻蚀团队覆盖 AMAT Precision5000、Centura 5200、LAM4520、LAM4500、LAM4400、TCP9600、TCP9400、LAM2300 Kiyo/Kiyo45、E5/E6 Kiyo 等设备，能够围绕 ESC 改造、Si/SiC 产品需求和整机翻新调试提供工程支持。